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077643518
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1.
Interconnexions en cuivre d'architecture damascène : modélisation du polissage mécano-chimique (P.M.C.) et étude du phénomène de formation de cavités dans le cuivre
Roussel, Céline (1976-....) / Atelier national de reproduction des thèses / 2003
2.
Interconnexions en cuivre d'architecture damascène : modélisation du polissage mécano-chimique (P.M.C.) et étude du phénomène de formation de cavités dans le cuivre
Roussel, Céline (1976-....) / 2003